技術特（tè）點：● 亞微米線寬（kuān）工藝 ● 高均勻性和一致性 ● 去離子水減少高達80% ● 工藝介質減少高達80% ● 封（fēng）閉式（shì）係統 ● 可柔性多腔（qiāng）室組合 | 設（shè）備（bèi）用途：● 閃蝕（shí）工藝 ● 清洗工藝 ● 剝膜工藝 ● 顯像工藝 |
板級旋（xuán）風DES
技術特點：● 亞微米線寬工藝 ● 高（gāo）均勻性和一致性（xìng） ● 去離子水減少高達（dá）80% ● 工藝介質減少高達80% ● 封閉式係統 ● 可柔性多腔室組合（hé） | 設備用途：● 閃蝕（shí）工藝 ● 清洗（xǐ）工藝 ● 剝膜工藝 ● 顯像工藝 |
