設備用途：
● RCA清（qīng）洗機
● 柵極預清洗
● 碳化矽腐蝕
● 光（guāng）阻去除
● 氧化矽腐蝕
● 有機清洗
● 晶圓 Recycle
● TGV複合誘導（dǎo）腐蝕
Bench批次式濕法設備
設備用途：
● RCA清洗機
● 柵極預（yù）清洗
● 碳化矽腐蝕
● 光阻（zǔ）去除
● 氧化矽腐蝕
● 有機清洗
● 晶圓 Recycle
● TGV複合誘導腐蝕
● RCA清洗機
● 柵極預（yù）清洗
● 碳化矽腐蝕
● 光阻（zǔ）去除
● 氧化矽腐蝕
● 有機清洗
● 晶圓 Recycle
● TGV複合誘導腐蝕
● RCA清（qīng）洗機
● 柵極預清洗
● 碳化矽腐蝕
● 光（guāng）阻去除
● 氧化矽腐蝕
● 有機清洗
● 晶圓 Recycle
● TGV複合誘導（dǎo）腐蝕
