技術特點：● 自動運行，幹進幹出（chū） ● 設備占地麵積小 ● 去離子水減少高達80% ● 工（gōng）藝介質減少高達80% ● 封閉式係統（tǒng） ● 可柔性多腔（qiāng）室組合（hé） | 設（shè）備用途（tú）：● 顯（xiǎn）像工藝 ● 刻蝕工藝 ● 清洗工藝 ● 剝離工藝 ● 可選配O3清（qīng）洗（xǐ） |
Vortex 批次式濕法設備（bèi）
技術特（tè）點：● 自動運行，幹進幹出（chū） ● 設備占地麵積小（xiǎo） ● 去離子水減少高達80% ● 工藝介質（zhì）減少高達80% ● 封閉式係統 ● 可柔性多腔室組合（hé） | 設備用途：● 顯像工藝（yì） ● 刻蝕工（gōng）藝（yì） ● 清洗工藝 ● 剝離（lí）工藝 ● 可選配O3清洗 |
